A Measurement System with High Precision and Large Range for Structured Surface Metrology Based on Atomic Force Microscope

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Descripción: Con el rápido y continuo desarrollo de la tecnología de nanofabricación, las demandas de metrología de gran alcance y alta precisión de superficies estructuradas son cada vez más urgentes. En este artículo, los autores proponen un sistema de medición metrológica basado en un microscopio de fuerza atómica comercial. Además, se presenta la integración del sistema metrológico, el procesamiento de señales y la calibración de todo el sistema. Los resultados de tres estudios experimentales sobre un escalón alto, una rejilla de deposición atómica y una herramienta de corte demuestran una elevada repetibilidad y reproducibilidad de las mediciones tanto en dirección vertical como lateral.
Citación recomendada (normas APA)
: MDPI, "A Measurement System with High Precision and Large Range for Structured Surface Metrology Based on Atomic Force Microscope", -:Revista VirtualPRO,, 2023. Consultado en línea en la Biblioteca Digital de Bogotá (https://www.bibliotecadigitaldebogota.gov.co/resources/3892475/), el día 2025-12-22.

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