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Microstructure and Properties of TiSiN/AlN with Different Modulation Periods

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Autor
Año de publicación 2019
Idioma Inglés
Publicado por Revista VirtualPRO,

Descripción: Se depositaron nanocapas de TiSiN/AlN con diferentes espesores de capa de AlN sobre acero inoxidable 304 mediante un sistema de sputtering por magnetrón. Para caracterizar la microestructura y las propiedades de las nanocapas de TiSiN/AlN se utilizaron la difracción de rayos X, la prueba de nanoindentación, la microscopía de fuerza atómica y la prueba de desgaste por fricción. Los resultados muestran que las nanocapas de TiSiN/AlN son estructuras cúbicas centradas en las caras y presentan una fuerte orientación preferente en el plano (200). Los picos de difracción de la nanocapa de TiSIN/AlN se desplazan hacia un ángulo pequeño. Cuando el grosor de la capa de AlN es de 2 nm, el pico es más alto y el grado de desplazamiento es mayor. Los campos de tensión y compresión alternados se forman a lo largo de la dirección de crecimiento de las nanocapas de TiSiN/AlN y aumentan la resistencia de las nanocapas. Cuando el grosor de la capa de AlN es de 2 nm, la dureza máxima y el módulo de Young de las nanocapas de TiSiN/AlN son, respectivamente, de 32,8 GPa y 472 GPa, y la rugosidad más pequeña es de 33,4 nm. Pero el coeficiente de fricción es menor cuando el espesor de la capa de AlN es de 1,5 nm.
Citación recomendada (normas APA)
: Hindawi, "Microstructure and Properties of TiSiN/AlN with Different Modulation Periods", -:Revista VirtualPRO,, 2019. Consultado en línea en la Biblioteca Digital de Bogotá (https://www.bibliotecadigitaldebogota.gov.co/resources/3873254/), el día 2025-12-22.

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Fuente Revista Virtual Pro
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Año de publicación 2019

Microstructure and Properties of TiSiN/AlN with Different Modulation Periods

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