Purity of Ion Beams, Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation

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Descripción: Este trabajo muestra que los eventos de intercambio de carga y las reacciones de disociación de los iones pueden afectar a la pureza del haz de iones en la implantación de iones, lo que conduce a la contaminación del blanco implantado. Se derivan relaciones físicas que explican por qué los iones no deseados son transportados en el haz de iones a pesar de una separación de masas magnética. Basándose en estas relaciones, se ha desarrollado la herramienta de simulación ENCOTION (ENergetic COntamination simulaTION). ENCOTION es una herramienta muy potente para la simulación de mecanismos de transporte de iones a través de un analizador magnético y para la simulación de espectros de masas, como se demostrará en este artículo.
Citación recomendada (normas APA)
: Hindawi Publishing Corporation, "Purity of Ion Beams, Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation", -:Revista VirtualPRO,, 2011. Consultado en línea en la Biblioteca Digital de Bogotá (https://www.bibliotecadigitaldebogota.gov.co/resources/3870868/), el día 2025-05-24.

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